Онлайн переводчик http://translate.meta.ua
поменять
По-английски

According to Eq. (10) and condition (9) minimal change of an ellipsometric angle .1 that can be registered at the above-mentioned configuration of experiment is compensated by the difference of partial derivatives dm dd for both models.
Higher sensitiveness of the ellipsometric measurements to the changes of groove depth than to the changes of its width in the absolute values can be explained that investigating heterogeneous surface structures ellipsometric parameters are sensible to the change of relative (by volume) film material contents in a volume of heterogeneous surface structure.
It is obviously that relative change of the material volume fraction in a heterogeneous film caused by change of the groove depth (iid) is on an order bigger than at the same change of its width (Sw = Sd) for the structure of optical disc (w -- 500 nm, d = 50nm). Therefore, it is better to compare the sensitivity to the relative changes of the groove parameters Swjw and Sdjd.

По-украински

Згідно з Eq. (10) і мінімальною зміною умови (9) ellipsometric кута .1, який може бути зареєстрований в наведеній вище конфігурації експерименту, дається компенсацію різницею dm безпосереднього відхилення часткових похідних слів для обох моделей.
Вища чутливість ellipsometric вимірів до змін глибини жолобка, ніж до змін його ширини в абсолютних цінностях може бути пояснений, що, розслідуючи різнорідні ellipsometric параметри поверхневих структур усвідомлюють до зміни відносного (об'ємом) film матеріального вмісту в об'ємі різнорідної поверхневої структури.
Це є очевидно, що відносна зміна матеріальної volume фракції в різнорідному фільмі, викликаному зміною глибини (iid) жолобка, на замовленні, більшому, ніж в тій же зміні його ширини (Короткохвильовий = Sd) для структури оптичного диска (w -- 500 нітрометану, d = 50nm). Тому, це краще, щоб порівняти чутливість з відносними змінами параметри жолобка Swjw і Sdjd.